СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ В СВЧ ПЛАЗМЕ
Авторы:
1.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, ООО «СВД.Спарк» г.Троицк
2.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН; ООО «СВД.Спарк» г.Троицк
3.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
4.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
5.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
6.
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Тип:
Статья
Номер статьи:
Статус:
Опубликован
Получено:
19.04.2023
Одобрено:
01.08.2025
Опубликовано:
01.08.2025
Классификаторы:
УДК 620.3
Язык материала:
русский
Ключевые слова:
СВЧ плазма, нанокристаллический алмаз, мембраны, nanocrystalline diamond, membranes
Аннотация (русский):
Методом химического осаждения из смеси метан-водород в СВЧ-плазме выращены слои нанокристаллического алмаза толщиной около 300 нм на кремниевой подложке, из которых затем локальным удалением Si сформированы алмазные мембраны диаметром 100-200 мкм. Наличие алмазной структуры подтверждено спектрами комбинационного рассеяния (КР). В спектре фотолюминесценции (ФЛ) мембран регистрируется интенсивный пик на длине волны 738 нм, соответствующий свечению центров окраски кремний-вакансия ( Si - V ) в алмазе. Полученные мембраны могут быть использованы для создания микрорезонаторов для фотоники, избирательно усиливающих ФЛ на заданной длине волны.
Методом химического осаждения из смеси метан-водород в СВЧ-плазме выращены слои нанокристаллического алмаза толщиной около 300 нм на кремниевой подложке, из которых затем локальным удалением Si сформированы алмазные мембраны диаметром 100-200 мкм. Наличие алмазной структуры подтверждено спектрами комбинационного рассеяния (КР). В спектре фотолюминесценции (ФЛ) мембран регистрируется интенсивный пик на длине волны 738 нм, соответствующий свечению центров окраски кремний-вакансия ( Si - V ) в алмазе. Полученные мембраны могут быть использованы для создания микрорезонаторов для фотоники, избирательно усиливающих ФЛ на заданной длине волны.
Ключевые слова:
СВЧ плазма, нанокристаллический алмаз, мембраны, nanocrystalline diamond, membranes
СВЧ плазма, нанокристаллический алмаз, мембраны, nanocrystalline diamond, membranes
1. I. Aharonovich, A.D. Greentree, S. Prawer Nature Photonics, 5, 397-405 (2011).
2. S. Pezzagna, D. Rogalla1, D. Wildanger, J. Meijer, A. Zaitsev New Journal of Physics 13, 035024 (2011).
3. I.I. Vlasov, A.S. Barnard, V.G. Ralchenko, O.I. Lebedev, M.V. Kanzyuba, A.V. Saveliev, V.I. Konov, E.Goovaerts et al. Adv. Mater., 21, 808-812 (2009).
4. J. Riedrich-Möller, L. Kipfstuhl, C. Hepp, E. Neu, C. Pauly, F. Mücklich, A. Baur, M. Wandt, S. Wolff, M. Fischer, S. Gsell, M. Schreck, and C. Becher Nature Nanotechnology 7, 69-74 (2012).
5. www.cvd-diamond.ru.
6. 6. В.С. Седов, И.И. Власов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, В.И. Конов, A.G. Fabbri, G. Conte Краткие сообщения по физике, 3, 14-21 (2011)
