ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ КОНДЕНСАТОВ НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ РОСТА
Аннотация и ключевые слова
Аннотация (русский):
Исследовано формирование покрытия из нитридов тугоплавких металлов. Покрытие получали методом конденсации из плазменной фазы в условиях ионной бомбардировки. На начальных стадиях роста покрытия (до 15 секунд), при конденсации одним испарителем, на стальной подложке с потенциалом –150 В скорость роста в 2 раза выше чем на диэлектрике и достигает до 26 нм/с.

Ключевые слова:
очистка поверхности, ВЧЕ плазменная обработка, surface cleaning, high-frequency plasma processing
Список литературы

1. Абдуллин И.Ш., Миронов М.М., Васильев И.И. Формирование наноструктурированного композиционного покрытия в плазме дугового разряда// Вестник Казан. технол. ун-та.- 2012, № 20. - С. 29-30.

2. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Известия Вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. М.: ЗАО «Калвис». №1, 2007. С. 53.

3. Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления / И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.Р. Сагбиев, М.Ф.Шаехов. - Казань: Изд-во Казан. технол. ун-та, 2007. - 356 с.

4. Абдуллин И.Ш., Васильев И.И. Финишная подготовка поверхности нетеплостойких инструментальных сталей перед нанесением защитных покрытий Вестник Казан. технол. ун-та.- - 2013, № 5. - С. 180-181.

Войти или Создать
* Забыли пароль?