Приведены экспериментальные результаты исследований начальных стадий роста покрытия TiN. Покрытие получали методом конденсации из плазменной фазы в условиях ионной бомбардировки. Показано, что для рассмотренных условий конденсации рост покрытия происходит в соответствии с механизмом Фольмера –Вебера. На начальных стадиях роста покрытия (до 55 секунд) скорость составило 0,08нм/с а размеры островков достигли до 40-50нм с высотой 3-4 нм.
конденсация методом КИБ, TiN, АСМ, condensation by PVD, TiN, AFM
1. И.Ш. Абдуллин, И.И.Васильев. Вестник Казанского технологического университета, 5, 180-181 (2013).
2. И.Ш. Абдуллин, И.И.Васильев. Вестник Казанского технологического университета, 14, 27 (2012).
3. В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева. Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ, 4, (2009).
4. А.Г. Бембель, В.М. Самсонов, М.Ю. Пушкарь. Фазовые переходы, упорядоченные состояния и новые материалы, 12, (2009).
5. В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева. Известия Вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия, 1,53 (2007).