В работе описана математическая модель струйного течения ВЧ-плазмы при давлении 0.1-10 Па и числах Кнудсена 0.3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа. Модель построена на основе статистического подхода для нейтральной компоненты ВЧ-плазмы c учетом влияния распределенного по объему источника тепла. Приведены результаты расчета течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы при наличии в струе образца.
аргон-силановая плазма, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, аморфный кремний, струйное течение, математическое моделирование, silane argon plasma, RF glow discharge, thin films deposition, amorphous silicon, jet flow, mathematical modeling
1. Шарафутдинов Р.Г., Бакланов М.Р., Аюпов Б.М. и др.// ЖТФ, Т.65, в.1, стр.181-185 (1995).
2. M.C.M. van de Sanden, R.J. Severens et al. // J. Appl. Phys. Vol. 84 (5) pp. 2426-2433 (1998)
3. Струнин В.И., Ляхов А.А., Худайбергенов Г.Ж., Шкуркин В.В.// ЖТФ, том 72, вып.6, 2002, стр. 109-114
4. Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления: монография [Текст] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.- Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.- 356 с.
5. Белоцерковский О.М. Численное моделирование в механике сплошных сред - Москва «Наука» Главная редакция физико-математической литературы. 1984. - 518 с.
6. Берд Г.А. Молекулярная газовая динамика. Москва, 1981.
7. Печатников Ю.М. Современные методы расчета характеристик вакуумных агрегатов для среднего вакуума (Обзор) // Вак. техн. и технол.- 2002.- Т.12, №4.
8. В.Г. Дулов, Г.А. Лукьянов. Газодинамика процессов истечения // Москва «Наука», 1984 г. - 234 с.
9. Печатников Ю.М. Физические явления и процессы переходного течения разреженного газа // Прикладная физика. 2004. № 2. С.19-25
10. А.Ю.Шемахин, В.С.Желтухин. Расчет газодинамики струй ВЧ плазмы пониженного давления.// Ученые записки Казанского университета, Т.153, кн.4, 2011 г. - с.135-142
11. Пат. 2188878 МПК 7 C 23 C 16/24, C 16/50, H 01 L 21/205. Способ нанесения пленок аморфного кремния и устройство для его осуществления / Баранова Л.В., Струнин В.И., Худайбергенов Г.Ж. и др. - № 2000119336/28; Заявлено 19.07.2000; Опубл.10.09.2002 Бюл. №25 - 5 с.: ил.
